hht1 7. 검사 및 계측 공정 핵심 장비사 – KLA, Hitachi 중심의 계측 기술 비교 검사 및 계측 공정이란? 반도체 공정에서 검사(Inspection)와 계측(Metrology)은 불량을 조기에 찾아내고, 공정 상태를 수치로 확인하는 필수 단계입니다. 미세공정이 진행될수록 웨이퍼의 결함이 작고 복잡해지기 때문에 고정밀 검사 장비 없이는 양산 수율을 유지하기 어렵습니다. 이 두 공정은 제품 완성도를 결정짓는 ‘마지막 방어선’이자, 앞선 공정 전반의 품질을 통제하는 핵심 기능을 수행합니다. 검사·계측 장비 대표 기업 TOP 3 장비사주요 장비특징 KLA (미국)패턴 결함 검사기, 옵티컬 계측기세계 1위 점유율, 고감도 탐지 Hitachi High-Tech (일본)CD-SEM, 리뷰 SEM고해상도 전자현미경 기반 계측 Applied Materials (미.. 2025. 5. 14. 이전 1 다음